通常情况是这样的，由于进入分子蒸馏设备的物料一般为经过前期处理的物料，所以其中必然残存前处理产生的各种杂质，在所有杂质中氢氟酸的腐蚀性属于比较强的；虽然它是不燃的，但会与大多数金属反应，生成氢气而引起爆炸。这种情况下，就需要采用专门用于处理含氢氟酸物料的分子蒸馏成套设备。
　　那是因为分子蒸馏设备高温、真空的特殊环境，与HF不反应的塑料材质不能使用，而一般制造设备的金属材质比如304、316不锈钢都与HF反应。虽然铂、黄金、银也不与氢氟酸反应，但是造价太昂贵，不能应用于工业。
　　针对高温、真空的特殊环境，对于分子蒸馏和薄膜设备采取喷涂聚四氟乙烯化合物的方式进行保护，既保证了设备强度，又保证了设备的耐蚀性，独特的喷涂工艺和结构设计，可以保证在真空和高温环境中，涂层不脱落。
　　对于不易喷涂的部位，针对不同的功能要求在局部采用非金属构件，例如换热管构件用的是碳化硅材质，其在HF中稳定可靠，换热系数是不锈钢的5倍；而且结构小巧，安全耐用。
　　针对不同的含HF物料，在进行常规工艺设计的同时，会根据不同的物料特点有针对性的对防腐提供一对一的设计，保证的分子蒸馏成套设备的安全使用，蒸馏效果的顺利实现。